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擴散泵的原理:在前級真空泵所造成的低真空條件下,加熱泵內硅油,使受熱沸騰蒸發,生成蒸氣,以很高速度通過該泵的各級噴口的縫隙噴出,使容器內部的氣體分子擴散到蒸汽中被帶到前級真空泵所能作用的位置,由前級真空泵迅速抽出,使系統達到高真空的要求。
型號 |
JK-150r |
JK-200T |
JK-300T |
JK-400T |
JK-500T |
JK600r |
KL-800r |
|
極限壓力(Pa) |
5x10-5 |
|||||||
抽速(LS) |
350 |
600 |
1400 |
2600 |
3500 |
5600 |
9200 |
|
主泵加熱功率(KW |
l |
1.8 |
3 |
4 |
6.5 |
8 |
13 |
|
主機型號 |
K-150T |
K-200T |
K-300T |
k-400T |
K-500T |
K-600r |
k-800T |
|
配用擋板 |
SB-150 |
SB-200 |
SB-300 |
SB-400 |
SB-500 |
SB-600 |
SB-800 |
|
配用 |
主閥 |
GD-150 |
GDQ-200 |
GDQ-300 |
GDQ-400 |
GDQ-500 |
GDQ-600 |
GDQ-800 |
管路閥門(2A) |
GD-50 |
GDQ-65 |
GDQ-80 |
GDQ-100 |
GDQ-100 |
GDQ-150 |
GDQ-150 |
|
配用的前級泵 |
2X-8 |
2X-15 |
2X-30 |
2X-70 |
ZJ150 |
ZJ300 |
ZI600 |
|
維持泵 |
儲氣罐 |
儲氣罐 |
儲氣罐 |
2x-4 |
2X-15 |
2X-15 |
2x-30 |
|
進氣直徑(mm) |
150 |
200 |
300 |
400 |
500 |
600 |
800 |
注:各泵配置為正常配置,根據客戶具體使用條件可適當改進、增減。